빛이 빔 스플리터에 들어간 후 일반 빛은 파장에 따라 다음 세 가지 유형으로 나눌 수 있습니다.
근 UV (근 UV) : 200-380nm
진공 UV< vuv=""> : 10-200nm
극 자외선, 극 자외선 (ExtremeUV 〈EUV>) : 1-10nm
빛이 빔 스플리터에 들어간 후 일반 빛은 파장에 따라 다음 세 가지 유형으로 나눌 수 있습니다.
근 UV (근 UV) : 200-380nm
진공 UV< vuv=""> : 10-200nm
극 자외선, 극 자외선 (ExtremeUV 〈EUV>) : 1-10nm